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產品名稱：芯片用超高純電子級磷酸及高選擇性蝕刻液
發布時間：2021-03-24
產品型號：
產品特點：多相反應器和結晶器的混合、流動、傳遞及反應：利用計算流體力學、傳遞學、反應工程學、數學模型化以及多尺度方法，研究反應分離設備內的多相過程機理和變化規律，實現多相設備和過程的科學設計、放大、問題診斷、預測、優化和調控。
團隊利用自主開發的數值放大新技術和測量儀器，發明了一系列強化混合、傳質傳熱和反應的新型反應器，應用于攪拌反應器、固定床、膜反應器、微反應器、聚合反應器、環流反應器、漿態床、滴流床、結晶器、生物反應器等，實現了高濃度非均相反應器和結晶器的數值放大和過程強化從基礎理論走向工業應用的突破，并已在中石化等近20家石化、醫藥和精細化工企業應用，包括己內酰胺、有機硅、電子級化學品、藥物結晶、航天動力材料等，每年為企業新增利稅超過10億元。
利用計算流體力學、傳遞學、反應工程學、數學模型化以及多尺度方法，研究反應分離設備內的多相過程機理和變化規律，實現多相設備和過程的科學設計、放大、問題診斷、預測、優化和調控。
工業問題：1、超高純電子級磷酸被國外長期壟斷，As/Sb等雜質導致芯片短路、失效；
2、磷酸合成溫度高達1300℃，反應器極易腐蝕，金屬雜質帶入產品。
支撐超高純電子級磷酸工藝，打破國外壟斷，實現進口替代和出口。
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